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电子行业制氮机

  • 所属分类 : 变压吸附制氮

  • 更新时间 : 2022-12-19
  • 产品编号: YX686273164
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产品介绍

电子行业用制氮机

      氮气在各行各业当中应用广泛。可用于电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等。主要应用于波峰焊、回流焊、水晶、压电、电子陶瓷、电子铜带、电池、电子合金材料等行业。电子行业对氮气要求一般比较高,通常需要99.9%或99.99%、以及99.99%以上的氮气。
      电子工业   半导体和集成电路制造过程的气氛保护,清洗,化学品回收等。
      大规模集成电路、彩电显像管、电视机和收录机元件及半导体元件处理的氮气源。
      在电子元件和半导体元件的生产过程中,需要采用纯度达99.999%以上的氮气作为保护气体。目前,我国已将高纯氮作为载气和保护气应用于彩电显像管、大规模集成电路、液晶及半导体硅片等生产过程。


工艺架构:


图片8.png

1. 空气压缩机:空气通过空气压缩机进行收集和压缩,为氧气发生器提供气源。参考指标:电压和功率。

2.四级过滤器:空气净化作用。可以过滤压缩空气当中的颗粒,水,油,粉尘。过滤精度达到0.01ppm。

3.冷冻干燥机:通常进入空气网的压缩空气都含有100%的水蒸汽。当空气冷却时蒸汽便会凝结,所以不仅会破坏压缩空气系统,还会对最终产品造成损坏。空气经过冷冻干燥机的干燥处理,可以保证设备系统健康运行。

(当空气露点≦45℃,另外选配吸附式干燥机,对低露点气源进行二次处理)

4.空气储存罐:空气经过一定带压设备的处理,需要在进入下一个组件之前,稳定和缓冲压力的作用。一级和二级两只储气罐。

5.氧气发生器:采用PSA变压吸附工艺,通过分子筛吸附和脱附的相互交替,实现氧氮分离。

6.氧气储存罐:从氧气发生器出来的合格氧气,通过管道输送到氧气储罐中。氧气罐自带安全阀,当压力达到一定的数值,安全阀会自动泄放压力,使整个系统处于安全的工作环境。


技术特点

1、原料空气取自自然,只需提供压缩空气和电源即可制取氮气。设备能耗低,运行成本费用少。

2、氮气纯度调整方便,氮气纯度只受氮气排气量的影响,普通制氮纯度在95%-99.999%之间任意调节;高纯度制氮机可在99%-99.999%之间任意调节。

3、设备自动化程度高,产气快,可无人值守。启动、关机只需按一下按钮,开机20-40分钟内即可产生氮气。

4、设备工艺流程简单,设备结构外形紧凑,占地面积小,设备装置适应性强。

5、暴风雪法装填分子筛,避免高压气流冲击导致分子筛粉化现象,确保分子筛长时间使用。

6、数显流量计带压力补偿、高精度的工业过程监控二次仪表,具有瞬时流量及累积计算的功能。

7、在线分析仪浓度检测,高精度,免维护。

8、不合格气动自动放空,无需人为,保证工作效率。

9、可设计不合格纯度报警,

10、预留PLC的通讯接口(RS485),与买方上位机通讯。


技术指标参数:

流量:3~2000nm3/hr

纯度:95-99.999%

压力:0.01-0.8Mpa(以内可调)

露点:-45

氧含量:5ppm

过滤精度:0.001ppm


型号

流量(m3/hr

纯度(%)

高纯度(%

压力(Mpa)

动力来源

工艺

露点(

低露点(

产成品

XTFD-10

10

95

99.9995

0.8

天然空气

PSA

变压吸附式

-45

-70

氮气

XTFD-20

20

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-30

30

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-50

50

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-100

100

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-200

200

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-300

300

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-500

500

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-1000

1000

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-1500

1500

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

XTFD-2000

2000

95

99.9995

0.8

-45

-70

氮气

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